民間住宿

　　無塵室，也稱潔淨室，是指一個具有低污染水平的環境，這裡所指的污染來源有灰塵，HEPA空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。更准確地講，一個潔淨室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒大小來釐定的。低級別的潔淨室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物)，更多的是關心空氣傳播的灰塵。

　　無塵室的定義：空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境。亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為潔淨室。潔淨室被廣泛地應用在對環境污染特別無塵室設備工程敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、除味濾網潔淨度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求範圍內，才不會對制程產生影響。作為生產設施，潔淨室可以占據廠房很多位置。

　　無塵室系統制造符合規格之潔淨空氣，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端化學濾網，潔淨室內的制造區。以下由立淨簡單介紹潔淨室的處理流程：外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵並控制其溫濕度後，經由回風管道間，將潔淨室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至活性碳濾網淨室要求之規格，通過循環風扇或FFU帶動潔淨室的氣流循環帶走微塵及熱量，最後經過超高性能過濾網或過濾後，供應至Fab區。